Passat ईंधन कॉमन रेल प्रेशर सेंसर 06E906051K पर लागू

1. दबाव सेंसर बनाने की एक विधि, जिसमें शामिल हैं:

एक अर्धचालक सब्सट्रेट प्रदान करना, जिसमें अर्धचालक सब्सट्रेट पर एक पहली इंटरलेयर ढांकता हुआ परत, एक पहली इंटरलेयर ढांकता हुआ परत और दूसरी इंटरलेयर ढांकता हुआ परत बनती है।

पहली इंटरलेयर ढांकता हुआ परत में एक निचला इलेक्ट्रोड प्लेट, एक पहला पारस्परिक इलेक्ट्रोड निचली इलेक्ट्रोड प्लेट के समान परत पर स्थित होता है और अलग-अलग दूरी पर होता है।

कनेक्टिंग परतें;

निचली ध्रुवीय प्लेट के ऊपर एक बलि परत का निर्माण;

पहली इंटरलेयर ढांकता हुआ परत, पहली इंटरकनेक्शन परत और बलिदान परत पर एक ऊपरी इलेक्ट्रोड प्लेट बनाना;

बलि परत बनने के बाद और ऊपरी प्लेट बनने से पहले, पहली इंटरकनेक्शन परत में

एक कनेक्शन ग्रूव बनाना, और पहली इंटरकनेक्शन परत से विद्युत रूप से जुड़ने के लिए कनेक्शन ग्रूव को ऊपरी प्लेट से भरना;या,

ऊपरी इलेक्ट्रोड प्लेट बनने के बाद, ऊपरी इलेक्ट्रोड प्लेट और पहली इंटरकनेक्शन परत में कनेक्टिंग ग्रूव बनते हैं, जो

ऊपरी इलेक्ट्रोड प्लेट और कनेक्शन खांचे में पहली इंटरकनेक्शन परत को जोड़ने वाली एक प्रवाहकीय परत बनाना;

ऊपरी प्लेट और पहली इंटरकनेक्शन परत को विद्युतीय रूप से जोड़ने के बाद, एक गुहा बनाने के लिए बलिदान परत को हटा दें।

2. दावे 1 के अनुसार प्रेशर सेंसर बनाने की विधि, जिसमें पहली परत है

इंटरलेयर ढांकता हुआ परत पर बलिदान परत बनाने की विधि में निम्नलिखित चरण शामिल हैं:

पहली इंटरलेयर ढांकता हुआ परत पर एक बलिदान सामग्री परत जमा करना;

बलि सामग्री की परत को एक बलि परत बनाने के लिए पैटर्न बनाना।

3. दावे 2 के अनुसार दबाव सेंसर बनाने की विधि, जिसमें फोटोलिथोग्राफी और उत्कीर्णन का उपयोग किया जाता है।

यज्ञ सामग्री की परत को नक़्क़ाशी प्रक्रिया द्वारा प्रतिरूपित किया जाता है।

4. दावा 3 के अनुसार प्रेशर सेंसर बनाने की विधि, जिसमें बलि की परत

सामग्री अनाकार कार्बन या जर्मेनियम है।

5. दावे 4 के अनुसार प्रेशर सेंसर बनाने की विधि, जिसमें बलि की परत

सामग्री अनाकार कार्बन है;

बलि सामग्री की परत को उकेरने की प्रक्रिया में उपयोग की जाने वाली नक़्क़ाशी गैसों में O2, CO, N2 और Ar शामिल हैं;

बलि सामग्री परत को उकेरने की प्रक्रिया में पैरामीटर हैं: O2 की प्रवाह सीमा 18 SCCM ~ 22 SCCM है, और CO की प्रवाह दर 10% है।

प्रवाह दर 90 एससीसीएम से 110 एससीसीएम तक होती है, एन2 की प्रवाह दर 90 एससीसीएम से 110 एससीसीएम तक होती है, और अर की प्रवाह दर होती है।

रेंज 90 एससीसीएम ~ 110 एससीसीएम है, दबाव रेंज 90 एमटीओआर ~ 110 एमटीओआर है, और पूर्वाग्रह शक्ति है

540w～660w。