PASSAT ईंधन सामान्य रेल दबाव सेंसर 06E906051K के लिए लागू

1। एक दबाव सेंसर बनाने के लिए एक विधि, जिसमें शामिल हैं:

एक अर्धचालक सब्सट्रेट प्रदान करना, जिसमें एक पहली इंटरलेयर ढांकता हुआ परत, एक पहली इंटरलेयर ढांकता हुआ परत और एक दूसरी इंटरलेयर ढांकता हुआ परत अर्धचालक सब्सट्रेट पर बनती है।

पहले इंटरलेयर ढांकता हुआ परत में एक कम इलेक्ट्रोड प्लेट, एक पहला पारस्परिक इलेक्ट्रोड एक ही परत पर स्थित है, जो निचले इलेक्ट्रोड प्लेट के रूप में है और अलग -अलग है।

परतों को जोड़ने;

निचली ध्रुवीय प्लेट के ऊपर एक बलि परत का गठन;

पहले इंटरलेयर ढांकता हुआ परत पर एक ऊपरी इलेक्ट्रोड प्लेट का गठन, पहली इंटरकनेक्शन परत और बलि परत;

बलि परत बनाने के बाद और ऊपरी प्लेट बनाने से पहले, पहले इंटरकनेक्शन परत में

एक कनेक्शन नाली का गठन, और पहले इंटरकनेक्शन परत के साथ विद्युत रूप से जुड़ने के लिए ऊपरी प्लेट के साथ कनेक्शन नाली को भरना; या,

ऊपरी इलेक्ट्रोड प्लेट बनाने के बाद, ऊपरी इलेक्ट्रोड प्लेट और पहली इंटरकनेक्शन परत में कनेक्टिंग खांचे का गठन किया जाता है, जो

ऊपरी इलेक्ट्रोड प्लेट और कनेक्शन नाली में पहली इंटरकनेक्शन परत को जोड़ने वाली एक प्रवाहकीय परत का गठन;

विद्युत रूप से ऊपरी प्लेट और पहली इंटरकनेक्शन परत को जोड़ने के बाद, एक गुहा बनाने के लिए बलि परत को हटाते हुए।

2। दावा 1 के अनुसार एक दबाव सेंसर बनाने की विधि, जिसमें पहली परत में

इंटरलेयर ढांकता हुआ परत पर बलि परत बनाने की विधि में निम्नलिखित चरण शामिल हैं:

पहले इंटरलेयर ढांकता हुआ परत पर एक बलिदान सामग्री परत जमा करना;

एक बलि परत बनाने के लिए बलिदान सामग्री परत को पैटर्न करना।

3। दावा 2 के अनुसार दबाव सेंसर बनाने की विधि, जिसमें फोटोलिथोग्राफी और उत्कीर्णन का उपयोग किया जाता है।

बलिदान सामग्री परत को नक़्क़ाशी प्रक्रिया द्वारा पैटर्न किया जाता है।

4। दावा 3 के अनुसार एक दबाव सेंसर बनाने की विधि, जिसमें बलि परत है

सामग्री अनाकार कार्बन या जर्मेनियम है।

5। दावा 4 के अनुसार एक दबाव सेंसर बनाने की विधि, जिसमें बलि परत है

सामग्री अनाकार कार्बन है;

बलि की सामग्री परत को नक़्क़ाशी करने की प्रक्रिया में उपयोग की जाने वाली नक़्क़ाशी गैसों में O2, CO, N2 और AR शामिल हैं;

बलिदान सामग्री परत को खोदने की प्रक्रिया में पैरामीटर हैं: O2 की प्रवाह सीमा 18 SCCM ~ 22 SCCM है, और CO की प्रवाह दर 10%है।

प्रवाह दर 90 SCCM से 110 SCCM, N2 की प्रवाह दर 90 SCCM से 110 SCCM और AR की प्रवाह दर है।

रेंज 90 SCCM ~ 110 SCCM है, प्रेशर रेंज 90 mtor ~ 110 mtor है, और पूर्वाग्रह शक्ति है

540W ～ 660W。