आमतौर पर इस्तेमाल किया जाने वाला सेमीकंडक्टर प्रेशर सेंसर सब्सट्रेट के रूप में एन-टाइप सिलिकॉन वेफर का उपयोग करता है।सबसे पहले, सिलिकॉन वेफर को एक निश्चित ज्यामिति के साथ एक लोचदार तनाव-असर वाले हिस्से में बनाया जाता है।सिलिकॉन वेफर के तनाव-असर वाले हिस्से पर, चार पी-प्रकार प्रसार प्रतिरोधक अलग-अलग क्रिस्टल दिशाओं के साथ बनाए जाते हैं, और फिर इन चार प्रतिरोधों के साथ एक चार-हाथ वाला व्हीटस्टोन ब्रिज बनाया जाता है।बाहरी बल की कार्रवाई के तहत, प्रतिरोध मूल्यों में परिवर्तन विद्युत संकेत बन जाते हैं।दबाव प्रभाव वाला यह व्हीटस्टोन ब्रिज दबाव सेंसर का हृदय है, जिसे आमतौर पर पीज़ोरेसिस्टिव ब्रिज कहा जाता है (जैसा कि चित्र 1 में दिखाया गया है)।पीज़ोरेसिस्टिव ब्रिज की विशेषताएं इस प्रकार हैं: ① ब्रिज की चारों भुजाओं का प्रतिरोध मान बराबर है (सभी r0);② पुल की आसन्न भुजाओं का पीज़ोरेसिस्टिव प्रभाव मान में बराबर और चिह्न में विपरीत है;③ पुल की चारों भुजाओं का प्रतिरोध तापमान गुणांक समान है, और वे हमेशा एक ही तापमान पर होते हैं।अंजीर में.1, R0 कमरे के तापमान पर तनाव के बिना प्रतिरोध मान है;आरटी तापमान में परिवर्तन होने पर प्रतिरोध के तापमान गुणांक (α) के कारण होने वाला परिवर्तन है;Υ Rδ तनाव (ε) के कारण प्रतिरोध में परिवर्तन है;ब्रिज का आउटपुट वोल्टेज u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (निरंतर वर्तमान स्रोत ब्रिज) है।

जहाँ I0 स्थिर धारा स्रोत धारा है और e स्थिर वोल्टेज स्रोत वोल्टेज है।पीज़ोरेसिस्टिव ब्रिज का आउटपुट वोल्टेज स्ट्रेन (ε) के सीधे आनुपातिक है और इसका प्रतिरोध के तापमान गुणांक के कारण होने वाले आरटी से कोई लेना-देना नहीं है, जो सेंसर के तापमान बहाव को काफी कम कर देता है।सबसे व्यापक रूप से इस्तेमाल किया जाने वाला अर्धचालक दबाव सेंसर द्रव दबाव का पता लगाने के लिए एक सेंसर है।इसकी मुख्य संरचना मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन से बना एक कैप्सूल है (जैसा चित्र 2 में दिखाया गया है)।डायाफ्राम को एक कप में बनाया जाता है, और कप के नीचे वह हिस्सा होता है जो बाहरी बल को सहन करता है, और कप के नीचे दबाव पुल बनाया जाता है।रिंग पेडस्टल उसी सिलिकॉन सिंगल क्रिस्टल सामग्री से बना है, और फिर डायाफ्राम को पेडस्टल से जोड़ा जाता है।इस प्रकार के दबाव सेंसर में उच्च संवेदनशीलता, छोटी मात्रा और दृढ़ता के फायदे हैं, और इसका व्यापक रूप से विमानन, अंतरिक्ष नेविगेशन, स्वचालन उपकरणों और चिकित्सा उपकरणों में उपयोग किया गया है।