आमतौर पर इस्तेमाल किया जाने वाला अर्धचालक दबाव सेंसर सब्सट्रेट के रूप में एन-टाइप सिलिकॉन वेफर का उपयोग करता है। सबसे पहले, सिलिकॉन वेफर को एक निश्चित ज्यामिति के साथ एक लोचदार तनाव-असर वाले हिस्से में बनाया गया है। सिलिकॉन वेफर के तनाव-असर वाले हिस्से में, चार पी-प्रकार के प्रसार प्रतिरोधों को अलग-अलग क्रिस्टल दिशाओं के साथ बनाया जाता है, और फिर इन चार प्रतिरोधों के साथ एक चार-आर्म व्हीटस्टोन पुल का गठन किया जाता है। बाहरी बल की कार्रवाई के तहत, प्रतिरोध मूल्यों के परिवर्तन विद्युत संकेत बन जाते हैं। दबाव प्रभाव के साथ यह व्हीटस्टोन पुल दबाव सेंसर का दिल है, जिसे आमतौर पर पीज़ोरेसिस्टिव ब्रिज कहा जाता है (जैसा कि चित्र 1 में दिखाया गया है)। पीज़ोरेसिस्टिव ब्रिज की विशेषताएं इस प्रकार हैं: ① पुल के चार हथियारों के प्रतिरोध मूल्य समान हैं (सभी R0); ② पुल के आसन्न हथियारों का पीज़ोरेसिस्टिव प्रभाव मूल्य में और साइन में विपरीत है; ③ पुल के चार हथियारों का प्रतिरोध तापमान गुणांक समान है, और वे हमेशा एक ही तापमान पर होते हैं। अंजीर में। 1, R0 कमरे के तापमान पर तनाव के बिना प्रतिरोध मूल्य है; आरटी तापमान में परिवर्तन होने पर प्रतिरोध (α) के तापमान गुणांक के कारण होने वाला परिवर्तन है; Υ r δ तनाव (ε) के कारण होने वाले प्रतिरोध का परिवर्तन है; पुल का आउटपुट वोल्टेज u = i0 g = i0rg f (निरंतर वर्तमान स्रोत पुल) है।

जहां I0 निरंतर वर्तमान स्रोत वर्तमान है और ई निरंतर वोल्टेज स्रोत वोल्टेज है। पीज़ोरेसिस्टिव ब्रिज का आउटपुट वोल्टेज सीधे तनाव (ε) के लिए आनुपातिक है और इसका प्रतिरोध के तापमान गुणांक के कारण आरटी से कोई लेना -देना नहीं है, जो सेंसर के तापमान बहाव को बहुत कम कर देता है। सबसे व्यापक रूप से इस्तेमाल किया जाने वाला अर्धचालक दबाव सेंसर द्रव दबाव का पता लगाने के लिए एक सेंसर है। इसकी मुख्य संरचना मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन से बना एक कैप्सूल है (जैसा कि चित्र 2 में दिखाया गया है)। डायाफ्राम को एक कप में बनाया जाता है, और कप के नीचे वह हिस्सा होता है जो बाहरी बल को सहन करता है, और दबाव पुल कप के तल पर बनाया जाता है। रिंग पेडस्टल एक ही सिलिकॉन सिंगल क्रिस्टल मटेरियल से बना होता है, और फिर डायाफ्राम को पेडस्टल से बंधा होता है। इस तरह के दबाव सेंसर में उच्च संवेदनशीलता, छोटी मात्रा और दृढ़ता के फायदे हैं, और इसका उपयोग विमानन, अंतरिक्ष नेविगेशन, स्वचालन उपकरणों और चिकित्सा उपकरणों में व्यापक रूप से किया गया है।