कार्टर उत्खनन के लिए इंजन प्रेशर सेंसर 2CP3-68 1946725

प्रेशर सेंसर तैयार करने की एक विधि, जिसमें निम्नलिखित चरण शामिल हैं:

S1, एक पिछली सतह और एक सामने की सतह के साथ एक वेफर प्रदान करता है; वेफर की सामने की सतह पर एक पीज़ोरेसिस्टिव पट्टी और एक भारी डोप्ड संपर्क क्षेत्र बनाना; वेफर की पिछली सतह को खोदकर एक दबाव गहरी गुहा बनाना;

S2, वेफर के पीछे एक सपोर्ट शीट को बांधना;

S3, वेफर के सामने की ओर सीसे के छेद और धातु के तारों का निर्माण, और व्हीटस्टोन ब्रिज बनाने के लिए पीज़ोरेसिस्टिव स्ट्रिप्स को जोड़ना;

एस4, वेफर की सामने की सतह पर एक निष्क्रियता परत जमा करना और बनाना, और एक धातु पैड क्षेत्र बनाने के लिए निष्क्रियता परत का हिस्सा खोलना। 2. दावा 1 के अनुसार दबाव सेंसर की विनिर्माण विधि, जिसमें एस 1 में विशेष रूप से निम्नलिखित चरण शामिल हैं: एस 11: एक पिछली सतह और एक सामने की सतह के साथ एक वेफर प्रदान करना, और वेफर पर एक दबाव संवेदनशील फिल्म की मोटाई को परिभाषित करना; एस12: आयन इम्प्लांटेशन का उपयोग वेफर की सामने की सतह पर किया जाता है, पीज़ोरेसिस्टिव स्ट्रिप्स का निर्माण उच्च तापमान प्रसार प्रक्रिया द्वारा किया जाता है, और संपर्क क्षेत्रों को भारी मात्रा में डोप किया जाता है; S13: वेफर की सामने की सतह पर एक सुरक्षात्मक परत जमा करना और बनाना; एस14: एक दबाव संवेदनशील फिल्म बनाने के लिए वेफर के पीछे दबाव गहरी गुहा खोदना और बनाना। 3. दावे 1 के अनुसार प्रेशर सेंसर की निर्माण विधि, जिसमें वेफर SOI है।

1962 में, टुफ़्टे एट अल। पहली बार विसरित सिलिकॉन पीज़ोरेसिस्टिव स्ट्रिप्स और सिलिकॉन फिल्म संरचना के साथ एक पीज़ोरेसिस्टिव प्रेशर सेंसर का निर्माण किया, और पीज़ोरेसिस्टिव प्रेशर सेंसर पर शोध शुरू किया। 1960 के दशक के अंत और 1970 के दशक की शुरुआत में, तीन तकनीकों, अर्थात् सिलिकॉन अनिसोट्रोपिक नक़्क़ाशी तकनीक, आयन इम्प्लांटेशन तकनीक और एनोडिक बॉन्डिंग तकनीक की उपस्थिति ने दबाव सेंसर में बड़े बदलाव लाए, जिसने दबाव सेंसर के प्रदर्शन को बेहतर बनाने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाई। . 1980 के दशक से, अनिसोट्रोपिक नक़्क़ाशी, लिथोग्राफी, डिफ्यूजन डोपिंग, आयन इम्प्लांटेशन, बॉन्डिंग और कोटिंग जैसी माइक्रोमशीनिंग तकनीक के आगे विकास के साथ, दबाव सेंसर का आकार लगातार कम हो गया है, संवेदनशीलता में सुधार हुआ है, और आउटपुट उच्च है और प्रदर्शन उत्कृष्ट है. साथ ही, नई माइक्रोमशीनिंग तकनीक का विकास और अनुप्रयोग दबाव सेंसर की फिल्म की मोटाई को सटीक रूप से नियंत्रित करता है।